HORIBA堀場(chǎng)制作所 電容壓力計(jì)VG-200

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VG 系列電容式壓力計(jì)尺寸緊湊，采用全金屬設(shè)計(jì)，可選配自動(dòng)溫度調(diào)節(jié)功能。

概要

• 緊湊型自加熱設(shè)計(jì)

• 電極結(jié)構(gòu)帶來高性能和高穩(wěn)定性

• 鎳合金隔膜具有良好的耐腐蝕性

• 設(shè)定點(diǎn)輸出（2 點(diǎn)）

• 警報(bào)輸出

• 通過專用軟件調(diào)整量程

• 一鍵歸零

• 電源要求 +/-15V 直流電或 24V 直流電

• 符合 CE 認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)和 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

技術(shù)論文

電容薄膜真空計(jì)研發(fā)  (1.3MB)

摘要
"在用于制造發(fā)光二極管、半導(dǎo)體、平板顯示器和太陽能電池的沉積制程或蝕刻制程中使用了各種氣體，而制程壓力對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量影響巨大，因此需要具備良好耐腐蝕性、無氣體依賴性和高精度的真空計(jì)。為滿足這些要求，HORIBA STEC 研發(fā)了電容薄膜真空計(jì)“VG-200 系列”，性能評(píng)估結(jié)果顯示其具備出色的重現(xiàn)性和長期穩(wěn)定性。本文將描述下 VG-200 系列產(chǎn)品的特性和性能評(píng)估結(jié)果。"